產(chǎn)品型號：AL-3500
更新時間：2026-05-26
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪 問 量 ：22
0415-3141333
產(chǎn)品分類
該設(shè)備專為晶圓生產(chǎn)品質(zhì)設(shè)計，利用高精度X射線技術(shù)，無損透視材料內(nèi)部晶格結(jié)構(gòu)，可離線/全自動測量單晶硅/碳化硅/氮化鎵等多種材質(zhì)裸晶圓內(nèi)部缺陷，可以檢查內(nèi)部微裂紋/位錯/夾雜物/微管/沉淀物/滑移/堆垛層錯/表面劃痕/亞晶粒等缺陷，并自帶算法，可提供非標(biāo)定制服務(wù)。
單晶硅內(nèi)部缺陷檢測
碳化硅內(nèi)部缺陷檢測
氮化鎵內(nèi)部缺陷檢測
晶圓內(nèi)部微裂紋缺陷檢測
晶圓內(nèi)部位錯缺陷檢測
晶圓內(nèi)部夾雜物缺陷檢測
晶圓內(nèi)部微管缺陷檢測
晶圓內(nèi)部沉淀物缺陷檢測
晶圓內(nèi)部滑移缺陷檢測
晶圓內(nèi)部堆垛層錯缺陷檢測
晶圓內(nèi)部表面劃痕缺陷檢測
晶圓內(nèi)部亞晶粒缺陷檢測
晶圓全自動測量與缺陷分析
反射式X射線衍射成像系統(tǒng)（XRDI）
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